The sputter performance of an industrial-scale planar Mo-target over ist lifetime:target erosion and film properties
- Martin Rausch (Redner)
- Asaf Sabag (Beitragende/r)
- Karl-Heinz Pichler (Beitragende/r)
- Georg Gruber (Beitragende/r)
- Judith Köstenbauer (Beitragende/r)
- Harald Köstenbauer (Beitragende/r)
- Patrice Kreiml (Beitragende/r)
- Megan J. Cordill (Beitragende/r)
- Jörg Winkler (Beitragende/r)
- Mitterer, C. (Beitragende/r)
Aktivität: Gespräch oder Vortrag › Mündliche Präsentation