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Tobias Ziegelwanger
Dipl.-Ing.
Lehrstuhl für Materialphysik (430)
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2023
Local gradients of microstructure and residual stresses in Si device sidewalls separated by laser dicing
Ziegelwanger, T.
,
Meindlhumer, M.
,
Todt, J.
,
Reisinger, M.
,
Matoy, K.
&
Keckes, J.
,
24 Apr. 2023
.
Publikation
:
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