流動性基材で作製される部品の製造を制御するための音響ノイズ感知

流動性基材から部品を製造するためのツール（１００）であって、当該ツールは、部品を製造するために流動性基材が導入される処理チャンバ（１０２）と、ツール（１００）から、特に処理チャンバ（１０２）から発生する音響信号を感知するとともに、製造中に、流動性基材とツール（１００）、特に処理チャンバ（１０２）との間の相互作用を示すように構成された音響センサ（１０４）であって、この音響センサ（１０４）が、可動アクチュエータ（１１０）を含む、音響センサ（１０４）と、感知された音響信号に基づいて、処理チャンバ（１０２）内での製造を制御及び／又は文書化するように構成された制御装置（２００）とを有する。