A Capacitance Ultrasonic Transducer with Micromaschined Backplate for Fast Flow-Measurements in Hot Pulsating Gases

Titel in Übersetzung: A Capacitance Ultrasonic Transducer with Micromaschined Backplate for Fast Flow-Measurements in Hot Pulsating Gases

Andreas Schröder, Mario Kupnik, Paul O'Leary, Ewald Benes, Martin Gröschl

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

Titel in ÜbersetzungA Capacitance Ultrasonic Transducer with Micromaschined Backplate for Fast Flow-Measurements in Hot Pulsating Gases
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)898-905
FachzeitschriftIEEE sensors journal
JahrgangVOL. 6
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2006

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