Accelerated thermo-mechanical fatigue of copper metallizations studied by pulsed laser heating

Stefan Wurster, Stephan Bigl, Megan Cordill, Daniel Kiener

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

7 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)110-118
Seitenumfang9
FachzeitschriftMicroelectronic engineering
Jahrgang167.2017
Ausgabenummer5 January
Frühes Online-Datum16 Dez. 2016
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 5 Jan. 2017

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