Annealing effects on the film stress and adhesion of tungsten-titanium barrier layers

Andreas Kleinbichler, Juraj Todt, Johannes Zechner, Stefan Wöhlert, Daniel Többens, Megan Cordill

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

4 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)376-381
Seitenumfang6
FachzeitschriftSurface & coatings technology
Jahrgang332.2017
Ausgabenummer25 December
DOIs
PublikationsstatusElektronische Veröffentlichung vor Drucklegung. - 18 Sept. 2017

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