Originalsprache | Englisch |
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Seiten (von - bis) | 376-381 |
Seitenumfang | 6 |
Fachzeitschrift | Surface & coatings technology |
Jahrgang | 332.2017 |
Ausgabenummer | 25 December |
DOIs | |
Publikationsstatus | Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung. - 18 Sept. 2017 |
Annealing effects on the film stress and adhesion of tungsten-titanium barrier layers
Andreas Kleinbichler, Juraj Todt, Johannes Zechner, Stefan Wöhlert, Daniel Többens, Megan Cordill
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung
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Zitate
(Scopus)