Asymmetric particle fluxes from drifting ionization zones in sputtering magnetrons

Titel in Übersetzung: Asymmetric particle fluxes from drifting ionization zones in sputtering magnetrons

Matjaz Panjan, Robert Franz, A. Anders

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung

39 Zitate (Scopus)

Titel in Übersetzung	Asymmetric particle fluxes from drifting ionization zones in sputtering magnetrons
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	0250071-02500712
Fachzeitschrift	Plasma sources science & technology
Jahrgang	23
DOIs	https://doi.org/10.1088/0963-0252/23/2/025007
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2014

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TY - JOUR

T1 - Asymmetric particle fluxes from drifting ionization zones in sputtering magnetrons

AU - Panjan, Matjaz

AU - Franz, Robert

AU - Anders, A.

PY - 2014

Y1 - 2014

U2 - 10.1088/0963-0252/23/2/025007

DO - 10.1088/0963-0252/23/2/025007

M3 - Article

SN - 0963-0252

VL - 23

SP - 250071

EP - 2500712

JO - Plasma sources science & technology

JF - Plasma sources science & technology

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