Characterization of 6H-SiC surfaces after ion implantation and annealing using positron annihilation spectroscopy and atomic force microscopy

Titel in Übersetzung: Characterization of 6H-SiC surfaces after ion implantation and annealing using positron annihilation spectroscopy and atomic force microscopy

G. Brauer, W. Anwand, W. Skorupa, S. Brandstetter, Christian Teichert

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

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Titel in ÜbersetzungCharacterization of 6H-SiC surfaces after ion implantation and annealing using positron annihilation spectroscopy and atomic force microscopy
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)023523-1-023523-8
FachzeitschriftJournal of applied physics
Jahrgang99
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2006

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