Characterization of Mo/Si soft X-ray multilayer mirrors by grazing-incidence small-angle X-ray scattering

Titel in Übersetzung: Characterization of Mo/Si soft X-ray multilayer mirrors by grazing-incidence small-angle X-ray scattering

P. Siffalovic, E. Majkova, L. Chitu, M. Jergel, S. Luby, Jozef Keckes, Günther Alois Maier, A. Timmann, S.V. Roth, T. Tsuru, T. Harada, M. Yamamoto, U. Heinzmann

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

20 Zitate (Scopus)
Titel in ÜbersetzungCharacterization of Mo/Si soft X-ray multilayer mirrors by grazing-incidence small-angle X-ray scattering
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)19-25
FachzeitschriftVacuum
Jahrgang89
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2009

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