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CO addition in low-pressure chemical vapour deposition of medium-temperature TiCxN1-x based hard coatings

Titel in Übersetzung: CO addition in low-pressure chemical vapour deposition of medium-temperature TiCxN1-x based hard coatings
  • Christoph Czettl
  • , Christian Mitterer
  • , U. Mühle
  • , D Rafaja
  • , S Puchner
  • , H. Hutter
  • , M. Penoy
  • , C. Michotte
  • , M. Kathrein

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

26 Zitate (Scopus)
Titel in ÜbersetzungCO addition in low-pressure chemical vapour deposition of medium-temperature TiCxN1-x based hard coatings
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)1691-1697
FachzeitschriftSurface & coatings technology
Jahrgang206
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2011

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