Compositional and structural evolution of sputtered Ti-Al-N

Titel in Übersetzung: Compositional and structural evolution of sputtered Ti-Al-N

Li Chen, Martin Moser, Yong Du, Paul Heinz Mayrhofer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

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Titel in ÜbersetzungCompositional and structural evolution of sputtered Ti-Al-N
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)6635-6641
FachzeitschriftThin solid films
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2009

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