Effect of crystal orientation on the hardness and strength of piezoelectric LiNbO3 substrates for microelectronic applications

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

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OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer110306
FachzeitschriftMaterials and Design
Jahrgang213
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PublikationsstatusVeröffentlicht - 2022

Bibliographische Notiz

Publisher Copyright:
© 2021 The Authors

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