Effect of Grain Size on the Residual Stress State and Thermal Expansion in Magnetron Sputtered Thin Films

Titel in Übersetzung: Effect of Grain Size on the Residual Stress State and Thermal Expansion in Magnetron Sputtered Thin Films

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in Konferenzband

Titel in ÜbersetzungEffect of Grain Size on the Residual Stress State and Thermal Expansion in Magnetron Sputtered Thin Films
OriginalspracheEnglisch
TitelProceedings 37th International Conference on Metallurgical Coatings and Thin Films
Seiten63-63
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2010

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