Effects of thermal annealing on the microstructure of sputtered Al 2O3 coatings

V. Edlmayr, T. P. Harzer, R. Hoffmann, D. Kiener, C. Scheu, C. Mitterer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

25 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer041506
FachzeitschriftJournal of vacuum science & technology / A (JVST)
Jahrgang29
Ausgabenummer4
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - Juli 2011

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