Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie

Christian Thomas Fischer

Publikation: Thesis / Studienabschlussarbeiten und HabilitationsschriftenMaster Thesis (Universitätslehrgang)Begutachtung

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Titel in ÜbersetzungDevelopment and simulation of a run to run controller for semiconductor furnace processes
OriginalspracheDeutsch
QualifikationDipl.-Ing.
Gradverleihende Hochschule
  • Montanuniversität
Betreuer/-in / Berater/-in
  • Kepplinger, Werner Leopold, Betreuer (intern)
  • Sorschag, Kurt, Betreuer (extern), Externe Person
PublikationsstatusVeröffentlicht - 25 Nov. 2004

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