Entwicklung und Simulation einer "Run to Run" Regelungsschleife für Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie

Publikation: Thesis / Studienabschlussarbeiten und Habilitationsschriften › Master Thesis (Universitätslehrgang) › Begutachtung

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Titel in Übersetzung	Development and simulation of a run to run controller for semiconductor furnace processes
Originalsprache	Deutsch
Qualifikation	Dipl.-Ing.
Gradverleihende Hochschule	Montanuniversität
Betreuer/-in / Berater/-in	Kepplinger, Werner, Betreuer (intern) Sorschag, Kurt, Betreuer (extern), Externe Person
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 25 Nov. 2004

Zugriff auf Dokument

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title = "Entwicklung und Simulation einer {"}Run to Run{"} Regelungsschleife f{\"u}r Ofenprozesse in der Halbleiterindustrie",

author = "Fischer, \{Christian Thomas\}",

year = "2004",

month = nov,

day = "25",

language = "Deutsch",

type = "Master's Thesis (University Course)",

school = "Montanuniversit{\"a}t Leoben (000)",

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