Erosion behavior of composite Al-Cr cathodes in cathodic arc plasmas in inert and reactive atmospheres

Robert Franz, Francisca Mendez Martin, Gerhard Hawranek, Peter Polcik

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

13 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)1-8
Seitenumfang8
FachzeitschriftJournal of vacuum science & technology / A (JVST)
JahrgangVol. 34
AusgabenummerNo. 2
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2016

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