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Fokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik

  • Christian Motz
  • , Daniel Kiener
  • , Thomas Schöberl
  • , Reinhard Pippan
  • , Gerhard Dehm

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Beitrag in Buch/Sammelband › Forschung

Titel in ÜbersetzungFokussierte Ionenstrahl-Technik (FIB) in der Mikro- und Nanomechanik
OriginalspracheDeutsch
TitelHandbuch der Nanoanalytik
Seiten162-163
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2005

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