Hochtemperatur-Röntgendiffraktion - Spannungen und Deformationen in dünnen Aluminium-Schichten auf Silizium

C. Resch, Jozef Keckes, Ernst Eiper, E. Resel

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in Buch/SammelbandForschung

Titel in ÜbersetzungHochtemperatur-Röntgendiffraktion - Spannungen und Deformationen in dünnen Aluminium-Schichten auf Silizium
OriginalspracheDeutsch
TitelHandbuch der Nanoanalytik
Seiten170-172
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2005

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