Imaging ultra thin layers with helium ion microscopy: Utilizing the channeling contrast mechanism

Titel in Übersetzung: Imaging ultra thin layers with helium ion microscopy: Utilizing the channeling contrast mechanism

Gregor Hlawacek, Vasilisa Veligura, Stefan Lorbek, Tijs F. Mocking, Antony George, Raoul van Gastel, Harold J. W. Zandvliet, Bene Poelsema

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

31 Zitate (Scopus)
Titel in ÜbersetzungImaging ultra thin layers with helium ion microscopy: Utilizing the channeling contrast mechanism
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)507-512
FachzeitschriftBeilstein journal of nanotechnology
Jahrgang3
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2012

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