Industrial-scale sputter deposition of Cr1-xAlxN coatings with 0.21<x <0.74 from segmented targets

Titel in Übersetzung: Industrial-scale sputter deposition of Cr1-xAlxN coatings with 0.21<x <0.74 from segmented targets

Thomas Weirather, Christoph Czettl, P. Polcik, M. Kathrein, Christian Mitterer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

22 Zitate (Scopus)
Titel in ÜbersetzungIndustrial-scale sputter deposition of Cr1-xAlxN coatings with 0.21<x <0.74 from segmented targets
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)303-310
FachzeitschriftSurface & coatings technology
Jahrgang232
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2013

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