Originalsprache | Englisch |
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Aufsatznummer | 021504 |
Seitenumfang | 8 |
Fachzeitschrift | Journal of vacuum science & technology / A (JVST) |
Jahrgang | 35.2017 |
Ausgabenummer | 2 |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 4 Jan. 2017 |
Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties
Julia Pachlhofer, Aitana Tarazaga Martin-Luengo, Robert Franz, Enrico Franzke, Harald Köstenbauer, Jörg Winkler, Alberta Bonanni, Christian Mitterer
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung
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Zitate
(Scopus)