Industrial-scale sputter deposition of molybdenum oxide thin films: Microstructure evolution and properties

Julia Pachlhofer, Aitana Tarazaga Martin-Luengo, Robert Franz, Enrico Franzke, Harald Köstenbauer, Jörg Winkler, Alberta Bonanni, Christian Mitterer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

11 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
Aufsatznummer021504
Seitenumfang8
FachzeitschriftJournal of vacuum science & technology / A (JVST)
Jahrgang35.2017
Ausgabenummer2
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 4 Jan. 2017

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