Titel in Übersetzung | Influence of bipolar pulsed DC magnetron sputtering on elemental composition and micro-structure of Ti-Al-Y-N thin films |
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Originalsprache | Englisch |
Seiten (von - bis) | 148-155 |
Fachzeitschrift | Surface & coatings technology |
Jahrgang | 203 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2008 |
Influence of bipolar pulsed DC magnetron sputtering on elemental composition and micro-structure of Ti-Al-Y-N thin films
Martin Moser, Paul Heinz Mayrhofer, L Székely, G Sáfrán, P.B. Barna
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung
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Zitate
(Scopus)