Influence of bipolar pulsed DC magnetron sputtering on elemental composition and micro-structure of Ti-Al-Y-N thin films

Titel in Übersetzung: Influence of bipolar pulsed DC magnetron sputtering on elemental composition and micro-structure of Ti-Al-Y-N thin films

Martin Moser, Paul Heinz Mayrhofer, L Székely, G Sáfrán, P.B. Barna

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

26 Zitate (Scopus)
Titel in ÜbersetzungInfluence of bipolar pulsed DC magnetron sputtering on elemental composition and micro-structure of Ti-Al-Y-N thin films
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)148-155
FachzeitschriftSurface & coatings technology
Jahrgang203
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2008

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