Influence of oxygen impurities on growth morphology, structure and mechanical properties of Ti–Al–N thin films

Helmut Riedl; F. Munnik; H. Hutter; Francisca Mendez Martin; S. Kolozsvari; M. Bartosik; Paul Heinz Mayrhofer; Christian Koller; Richard Rachbauer

doi:10.1016/j.tsf.2016.01.039

Influence of oxygen impurities on growth morphology, structure and mechanical properties of Ti–Al–N thin films

Helmut Riedl
, F. Munnik
, H. Hutter
, Francisca Mendez Martin
, S. Kolozsvari
, M. Bartosik
, Paul Heinz Mayrhofer
, Christian Koller
, Richard Rachbauer

Lehrstuhl für Metallkunde (420)

Technische Universität Wien

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung

19 Zitate (Scopus)

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	39-49
Seitenumfang	10
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	603
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.tsf.2016.01.039
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2016

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10.1016/j.tsf.2016.01.039

Dieses zitieren

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TY - JOUR

T1 - Influence of oxygen impurities on growth morphology, structure and mechanical properties of Ti–Al–N thin films

AU - Riedl, Helmut

AU - Munnik, F.

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U2 - 10.1016/j.tsf.2016.01.039

DO - 10.1016/j.tsf.2016.01.039

M3 - Article

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VL - 603

SP - 39

EP - 49

JO - Thin solid films

JF - Thin solid films

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