Titel in Übersetzung | Influence of Si on the target oxide poisoning during reactive arc evaporation of (Al,Cr)2O3 coatings |
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Originalsprache | Englisch |
Seiten (von - bis) | 29-32 |
Fachzeitschrift | Vacuum |
Jahrgang | 100 |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2014 |
Influence of Si on the target oxide poisoning during reactive arc evaporation of (Al,Cr)2O3 coatings
Jörg Paulitsch, R. Rachbauer, J. Ramm, P. Polcik, P.H. Mayrhofer
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung
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Zitate
(Scopus)