Influence of the N2 partial pressure on structure and properties of Zr1-xAlxN thin films

Titel in Übersetzung: Influence of the N2 partial pressure on structure and properties of Zr1-xAlxN thin films

Doris Sonnleitner, Jörg Paulitsch, Peter Polcik, Paul Heinz Mayrhofer

Publikation: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › Begutachtung

Titel in ÜbersetzungInfluence of the N2 partial pressure on structure and properties of Zr1-xAlxN thin films
OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2012
Veranstaltung13th International Conference on Plasma Surface Engineering - Garmisch-Partenkirchen, Deutschland
Dauer: 10 Sept. 2012 → 14 Sept. 2012

Konferenz

Konferenz13th International Conference on Plasma Surface Engineering
KurztitelPSE2012
Land/GebietDeutschland
OrtGarmisch-Partenkirchen
Zeitraum10/09/12 → 14/09/12

Dieses zitieren