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Influence of the N2 partial pressure on structure and properties of Zr1-xAlxN thin films

Titel in Übersetzung: Influence of the N2 partial pressure on structure and properties of Zr1-xAlxN thin films
  • Doris Sonnleitner
  • , Jörg Paulitsch
  • , Peter Polcik
  • , Paul Heinz Mayrhofer

Publikation: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › Begutachtung

Titel in ÜbersetzungInfluence of the N2 partial pressure on structure and properties of Zr1-xAlxN thin films
OriginalspracheEnglisch
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2012
Veranstaltung13th International Conference on Plasma Surface Engineering - Garmisch-Partenkirchen, Deutschland
Dauer: 10 Sept. 2012 → 14 Sept. 2012

Konferenz

Konferenz13th International Conference on Plasma Surface Engineering
KurztitelPSE2012
Land/GebietDeutschland
OrtGarmisch-Partenkirchen
Zeitraum10/09/12 → 14/09/12

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