Influences of the nitrogen content on the morphological, chemical and optical properies of pulsed laser deposited silicon nitride thin films

Titel in Übersetzung: Influences of the nitrogen content on the morphological, chemical and optical properies of pulsed laser deposited silicon nitride thin films

Juergen Lackner, Wolfgang Waldhauser, R. Berghauser, Reinhold Ebner, M. Beutl, G. Jakopic, G. Leising, H. Hutter, M. Rosner, Thomas Schöberl

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

11 Zitate (Scopus)
Titel in ÜbersetzungInfluences of the nitrogen content on the morphological, chemical and optical properies of pulsed laser deposited silicon nitride thin films
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)225-230
FachzeitschriftSurface & coatings technology
Jahrgang192
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2005

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