Originalsprache | undefiniert/unbekannt |
---|---|
Fachzeitschrift | Journal of applied physics |
Jahrgang | 120 |
Ausgabenummer | 19 |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2016 |
Integrated experimental and computational approach for residual stress investigation near through-silicon vias
Marco Deluca, R. Hammer, Jozef Keckes, J. Kraft, F. Schrank, Juraj Todt, O. Robach, J. S. Micha, Stefan Defregger
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung
5
Zitate
(Scopus)