Investigation of fracture properties of magnetron-sputtered TiN films by means of a FIB-based cantilever bending technique

Titel in Übersetzung: Investigation of fracture properties of magnetron-sputtered TiN films by means of a FIB-based cantilever bending technique

S. Massl, W. Thomma, Jozef Keckes, Reinhard Pippan

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

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Titel in ÜbersetzungInvestigation of fracture properties of magnetron-sputtered TiN films by means of a FIB-based cantilever bending technique
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)1768-1776
FachzeitschriftActa materialia
Jahrgang57
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2009

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