Titel in Übersetzung | Investigation of fracture properties of magnetron-sputtered TiN films by means of a FIB-based cantilever bending technique |
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Originalsprache | Englisch |
Seiten (von - bis) | 1768-1776 |
Fachzeitschrift | Acta materialia |
Jahrgang | 57 |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2009 |
Investigation of fracture properties of magnetron-sputtered TiN films by means of a FIB-based cantilever bending technique
S. Massl, W. Thomma, Jozef Keckes, Reinhard Pippan
Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung
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