Magnetic field strength influence on the reactive magnetron sputter deposition of Ta2O5

Titel in Übersetzung: Magnetic field strength influence on the reactive magnetron sputter deposition of Ta2O5

Robert Hollerweger, David Holec, J. Paultisch, Richard Rachbauer, P. Polcik, P.H. Mayrhofer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

11 Zitate (Scopus)
Titel in ÜbersetzungMagnetic field strength influence on the reactive magnetron sputter deposition of Ta2O5
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)335203-335210
FachzeitschriftJournal of physics / D, Applied physics
Jahrgang46
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2013

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