Micron-sized fracture experiments on amorphous SiOx films and SiOx/SiNx multi-layers

Titel in Übersetzung: Micron-sized fracture experiments on amorphous SiOx films and SiOx/SiNx multi-layers

Kurt Matoy, H. Schönherr, Thomas Detzel, Gerhard Dehm

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung

24 Zitate (Scopus)

Titel in Übersetzung	Micron-sized fracture experiments on amorphous SiOx films and SiOx/SiNx multi-layers
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	5796-5801
Fachzeitschrift	Thin solid films
Jahrgang	518
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2010

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author = "Kurt Matoy and H. Sch{\"o}nherr and Thomas Detzel and Gerhard Dehm",

year = "2010",

language = "English",

volume = "518",

pages = "5796--5801",

journal = "Thin solid films",

issn = "0040-6090",

publisher = "Elsevier B.V.",

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