| Titel in Übersetzung | Microstructure related stress state in magnetron sputtered thin films |
|---|---|
| Originalsprache | Englisch |
| Titel | Proceedings E-MRS Spring Meeting |
| Seiten | 25-25 |
| Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2009 |
Microstructure related stress state in magnetron sputtered thin films
- Rostislav Daniel
- , Klaus Martinschitz
- , Jozef Keckes
- , Christian Mitterer
Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/Konferenzband › Beitrag in Konferenzband