Multiphysics simulations of PVT process for SiC growth

Titel in Übersetzung: Multiphysik-Simulationen des PVT-Prozesses für das SiC-Wachstum

Carlos Moya Merino

Publikation: Thesis / Studienabschlussarbeiten und HabilitationsschriftenMasterarbeit

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Abstract

In den letzten Jahren hat sich Siliziumkarbid (SiC) dank seiner hervorragenden Eigenschaften zu einem wichtigsten Material in der Halbleiterindustrie entwickelt. Die Produktionsmethode ist als physikalischer Gasphasentransport (PVT) bekannt, doch die Aufbaukonfiguration erlaubt es nicht, Informationen in-situ zu erhalten. Daher wurden Computersimulationen zum wichtigsten Ansatz für die Kontrolle und Vorhersage der PVT-Parameter, insbesondere durch die Modellierung mit der Finite Elemente Methode (FEM). Die Konstruktion eines FEM-Modells für die Modellierung eines Wachstumsprozesses kann jedoch aufgrund der beteiligten Physik sehr komplex sein. Diese Masterarbeit beschäftigt sich mit der Validierung verschiedener Algorithmen zur Berücksichtigung der Wärmeübertragung durch Strahlungsphysik. COMSOL Multiphysics ist eine FEM-Software, die über verschiedene Algorithmen (direkte Flächenintegration, Hemicube und Ray Shooting) zur Beschreibung der Strahlung von Oberfläche zu Oberfläche verfügt. Diese Algorithmen werden getestet und validiert, um ihre Genauigkeit in einem einfachen und anfänglichen PVT-Modell zu bestimmen, das die Grundlage für komplexere Modelle sein könnte.
Titel in ÜbersetzungMultiphysik-Simulationen des PVT-Prozesses für das SiC-Wachstum
OriginalspracheEnglisch
QualifikationMSc
Gradverleihende Hochschule
  • Montanuniversität
Betreuer/-in / Berater/-in
  • Ramadan, Zaher, Mitbetreuer (intern)
  • Romaner, Lorenz, Betreuer (intern)
Datum der Bewilligung22 März 2024
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2024

Bibliographische Notiz

nicht gesperrt

Schlagwörter

  • Siliziumkarbid
  • physikalischer Gasphasentransport
  • Finite Elemente Methode
  • Modellierung der Wärmeübertragung
  • strahlende Wärmeübertragung

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