Non-reactive dc magnetron sputter deposition of Mo-O thin films from ceramic MoOx targets

Julia Pachlhofer, Aitana Tarazaga Martin-Luengo, Robert Franz, Enrico Franzke, Harald Köstenbauer, Jörg Winkler, Alberta Bonanni, Silvia Mitterer, Christian Mitterer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

5 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)80-85
Seitenumfang6
FachzeitschriftSurface & coatings technology
Jahrgang332.2017
Ausgabenummer25 December
DOIs
PublikationsstatusElektronische Veröffentlichung vor Drucklegung. - 18 Sept. 2017

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