Non-reactive dc magnetron sputter deposition of Mo-O thin films from ceramic MoOx targets

Julia Pachlhofer; Aitana Tarazaga Martin-Luengo; Robert Franz; Enrico Franzke; Harald Köstenbauer; Jörg Winkler; Alberta Bonanni; Silvia Mitterer; Christian Mitterer

doi:10.1016/j.surfcoat.2017.07.083

Non-reactive dc magnetron sputter deposition of Mo-O thin films from ceramic MoO_x targets

Julia Pachlhofer, Aitana Tarazaga Martin-Luengo, Robert Franz, Enrico Franzke, Harald Köstenbauer, Jörg Winkler, Alberta Bonanni, Silvia Mitterer, Christian Mitterer

Lehrstuhl für Funktionale Werkstoffe und Werkstoffsysteme (425)

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung

5 Zitate (Scopus)

Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	80-85
Seitenumfang	6
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	332.2017
Ausgabenummer	25 December
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2017.07.083
Publikationsstatus	Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung. - 18 Sept. 2017

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10.1016/j.surfcoat.2017.07.083

Dieses zitieren

Pachlhofer, J., Martin-Luengo, A. T., Franz, R., Franzke, E., Köstenbauer, H., Winkler, J., Bonanni, A., Mitterer, S., & Mitterer, C. (2017). Non-reactive dc magnetron sputter deposition of Mo-O thin films from ceramic MoO_x targets. Surface & coatings technology, 332.2017(25 December), 80-85. Vorzeitige Online-Publikation. https://doi.org/10.1016/j.surfcoat.2017.07.083

@article{c2f6f608389843ccb6b9f6c34b0b9082,

title = "Non-reactive dc magnetron sputter deposition of Mo-O thin films from ceramic MoOx targets",

author = "Julia Pachlhofer and Martin-Luengo, {Aitana Tarazaga} and Robert Franz and Enrico Franzke and Harald K{\"o}stenbauer and J{\"o}rg Winkler and Alberta Bonanni and Silvia Mitterer and Christian Mitterer",

year = "2017",

month = sep,

day = "18",

doi = "10.1016/j.surfcoat.2017.07.083",

language = "English",

volume = "332.2017",

pages = "80--85",

journal = "Surface & coatings technology",

issn = "0257-8972",

publisher = "Elsevier B.V.",

number = "25 December",

}

TY - JOUR

T1 - Non-reactive dc magnetron sputter deposition of Mo-O thin films from ceramic MoOx targets

AU - Pachlhofer, Julia

AU - Martin-Luengo, Aitana Tarazaga

AU - Franz, Robert

AU - Franzke, Enrico

AU - Köstenbauer, Harald

AU - Winkler, Jörg

AU - Bonanni, Alberta

AU - Mitterer, Silvia

AU - Mitterer, Christian

PY - 2017/9/18

Y1 - 2017/9/18

U2 - 10.1016/j.surfcoat.2017.07.083

DO - 10.1016/j.surfcoat.2017.07.083

M3 - Article

SN - 0257-8972

VL - 332.2017

SP - 80

EP - 85

JO - Surface & coatings technology

JF - Surface & coatings technology

IS - 25 December

ER -