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Observation of multiple charge states and high ion energies in high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) and burst HiPIMS using a LaB6 target

Titel in Übersetzung: Observation of multiple charge states and high ion energies in high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) and burst HiPIMS using a LaB6 target
  • Robert Franz
  • , César Clavero
  • , Rustem Bolat
  • , Rueben Mendelsberg
  • , A. Anders

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

15 Zitate (Scopus)
Titel in ÜbersetzungObservation of multiple charge states and high ion energies in high-power impulse magnetron sputtering (HiPIMS) and burst HiPIMS using a LaB6 target
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)0350011-03500111
FachzeitschriftPlasma sources science & technology
Jahrgang23
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014

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