| Originalsprache | Englisch |
|---|---|
| Aufsatznummer | 112329 |
| Seitenumfang | 9 |
| Fachzeitschrift | Vacuum |
| Jahrgang | 215.2023 |
| Ausgabenummer | September |
| DOIs | |
| Publikationsstatus | Elektronische Veröffentlichung vor Drucklegung. - 29 Juni 2023 |
UN SDGs
Dieser Output leistet einen Beitrag zu folgendem(n) Ziel(en) für nachhaltige Entwicklung
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SDG 9 – Industrie, Innovation und Infrastruktur
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