Oxidation and wet etching behavior of sputtered ternary molybdenum films

Tanja Jörg
, Anna Maria Hofer-Roblyek
, Jörg Winkler
, Christian Mitterer
, Harald Köstenbauer

Publikation: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung

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14th IMID
Jörg, T. (Redner/-in)
26 Aug. 2014 → 29 Aug. 2014
Aktivität: Teilnahme an oder Organisation einer Veranstaltung › Konferenzteilnahme