Oxidation and wet etching behavior of sputtered ternary molybdenum films

Tanja Jörg, Anna Maria Hofer-Roblyek, Jörg Winkler, Christian Mitterer, Harald Köstenbauer

Publikation: KonferenzbeitragVortragForschung

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    Tanja Jörg (Redner/-in)

    26 Aug. 201429 Aug. 2014

    Aktivität: Teilnahme an oder Organisation einer VeranstaltungKonferenzteilnahme