Oxidation behavior of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films

Titel in Übersetzung: Oxidation behavior of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films

Christian Tritremmel, Rostislav Daniel, Christian Mitterer, Paul Heinz Mayrhofer, Markus Lechthaler, Peter Polcik

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

11 Zitate (Scopus)
Titel in ÜbersetzungOxidation behavior of arc evaporated Al-Cr-Si-N thin films
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)061501-1-061501-6
FachzeitschriftJournal of vacuum science & technology / A (JVST)
Jahrgang30
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2012

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