Titel in Übersetzung | Plasma CVD of alumina – unsolved problems |
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Originalsprache | Englisch |
Seiten (von - bis) | 141-145 |
Fachzeitschrift | Vacuum |
Jahrgang | 80 |
DOIs | |
Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2005 |
Plasma CVD of alumina – unsolved problems
J. Laimer, M. Fink, Christian Mitterer, H. Störi
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Zitate
(Scopus)