Plasma CVD of alumina – unsolved problems

Titel in Übersetzung: Plasma CVD of alumina – unsolved problems

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung

9 Zitate (Scopus)

Titel in Übersetzung	Plasma CVD of alumina – unsolved problems
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	141-145
Fachzeitschrift	Vacuum
Jahrgang	80
DOIs	https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2005.08.018
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2005

Zugriff auf Dokument

@article{7e27cd3581a5425b9418d4fa2f11eb48,

title = "Plasma CVD of alumina – unsolved problems",

author = "J. Laimer and M. Fink and Christian Mitterer and H. St{\"o}ri",

year = "2005",

doi = "10.1016/j.vacuum.2005.08.018",

language = "English",

volume = "80",

pages = "141--145",

journal = "Vacuum",

issn = "0042-207X",

publisher = "Elsevier Ltd",

}