Pulsed laser decomposition of silicon containing carbon thin films

Titel in Übersetzung: Pulsed laser decomposition of silicon containing carbon thin films

Publikation: Beitrag in Fachzeitschrift › Artikel › Forschung › Begutachtung

11 Zitate (Scopus)

Titel in Übersetzung	Pulsed laser decomposition of silicon containing carbon thin films
Originalsprache	Englisch
Seiten (von - bis)	360-364
Fachzeitschrift	Surface & coatings technology
Jahrgang	177-178
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2004

Dieses zitieren

@article{624a8ccf17784349bbde6aa8dd189261,

title = "Pulsed laser decomposition of silicon containing carbon thin films",

author = "Lackner, \{J. M.\} and W. Waldhauser and R. Ebner and A. Fian and G. Jakopic and G. Leising and Thomas Sch{\"o}berl",

year = "2004",

language = "English",

volume = "177-178",

pages = "360--364",

journal = "Surface \& coatings technology",

issn = "0257-8972",

publisher = "Elsevier B.V.",

}