Resolving depth evolution of microstructure and hardness in sputtered CrN film

Angelika Zeilinger, Rostislav Daniel, Thomas Schöberl, Mario Stefenelli, Bernhard Sartory, Jozef Keckes, Christian Mitterer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

11 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)75-79
FachzeitschriftThin solid films
Jahrgang581.2015
AusgabenummerApril
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2015

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