Restrictions of wafer curvature stress measurements by thermally induced plastic substrate deformation

Publikation: Konferenzbeitrag › Vortrag › Forschung › Begutachtung

Originalsprache	Englisch
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2015
Veranstaltung	E-MRS Spring Meeting 2015 - Lille, Frankreich Dauer: 11 Mai 2015 → 15 Mai 2015

E-MRS Spring Meeting 2015
Christian Saringer (Redner/-in)
11 Mai 2015 → 15 Mai 2015
Aktivität: Teilnahme an oder Organisation einer Veranstaltung › Konferenzteilnahme

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@conference{cfbda582b36a4046ad41090f8c252200,

title = "Restrictions of wafer curvature stress measurements by thermally induced plastic substrate deformation",

author = "Christian Saringer and Michael Tkadletz and Christian Mitterer",

year = "2015",

language = "English",

note = "E-MRS Spring Meeting 2015 ; Conference date: 11-05-2015 Through 15-05-2015",

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