Abstract
Ziel der Doktorarbeit war die Prozessentwicklung von Physikalischen Dampfphasenabscheidungverfahren und die Untersuchung der Struktur/Eigenschaften-Zusammenhänge von bei Raumtemperatur (
Titel in Übersetzung | Raum-Temperatur Abscheidung von DLC-Schichten mit einer Ionenstrahlmethode, reaktivem Magnetronkathodenzerstäuben und gepulster Laser Dampfphasenabscheidung: Prozess-Design, Schichtstruktur und Schichteigenschaften |
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Originalsprache | Englisch |
Qualifikation | Dr.mont. |
Betreuer/-in / Berater/-in |
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Publikationsstatus | Veröffentlicht - 2009 |
Bibliographische Notiz
nicht gesperrtSchlagwörter
- amorphe Kohlenstoffschichten (a-C)
- physikalische Dampfphasenabscheidung (PVD)
- Magnetronkathoden-Zerstäuben (Sputtern)
- gepulste Laser Dampfphasenabscheidung (PLD)
- Raman Spektroskopie