Simulation von EUV-Spiegeln

Ronald Meisels

Simulation von EUV-Spiegeln

Ronald Meisels

Lehrstuhl für Physik (460)

Publikation: Konferenzbeitrag › Poster › Transfer

Originalsprache	Deutsch
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 17 Mai 2018
Veranstaltung	Silicon Alps Spotlight: Neue Materialien und Materialtechnologien für Innovationen in der Mikroelektronik - Impulszentrum Werkstoffe, Leoben, Österreich Dauer: 17 Mai 2018 → 17 Mai 2018 https://www.silicon-alps.at/veranstaltungen/silicon-alps-spotlight-materialforschung-fuer-mikroelektronik-in-leoben/

Konferenz

Konferenz	Silicon Alps Spotlight
Land/Gebiet	Österreich
Ort	Leoben
Zeitraum	17/05/18 → 17/05/18
Internetadresse	https://www.silicon-alps.at/veranstaltungen/silicon-alps-spotlight-materialforschung-fuer-mikroelektronik-in-leoben/

Dieses zitieren

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