Simulations of Liquid Film Flows with Free Surface on Rotating Silicon Wafers

Titel in Übersetzung: Simulations of Liquid Film Flows with Free Surface on Rotating Silicon Wafers

Petr Vita, Doris Prieling, Helfried Steiner, Bernhard Gschaider, Markus Junk, Frank Holsteyns, Felix Staudegger, Christiane Lechner, Hendrik C. Kuhlmann

Publikation: Beitrag in Buch/Bericht/KonferenzbandBeitrag in Konferenzband

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Titel in ÜbersetzungSimulations of Liquid Film Flows with Free Surface on Rotating Silicon Wafers
OriginalspracheEnglisch
TitelMAS 2011 CD-ROM Proceedings
Seiten149-154
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2011

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