Spatial distribution of plasma properties in a dc-magnetron discharge and influence of the discharge power

Christian Saringer, A. D. Pajdarova, Pawel Baroch, Katrin Zorn, Robert Franz, Christian Mitterer

Publikation: Konferenzbeitrag › Poster › Forschung › Begutachtung

Originalsprache	Englisch
Publikationsstatus	Veröffentlicht - 2017
Veranstaltung	44th IOP Plasma Physics Conference - Worcester College, Oxford, Großbritannien / Vereinigtes Königreich Dauer: 3 Apr. 2017 → 6 Apr. 2017

Konferenz	44th IOP Plasma Physics Conference
Land/Gebiet	Großbritannien / Vereinigtes Königreich
Ort	Oxford
Zeitraum	3/04/17 → 6/04/17

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title = "Spatial distribution of plasma properties in a dc-magnetron discharge and influence of the discharge power",

author = "Christian Saringer and Pajdarova, {A. D.} and Pawel Baroch and Katrin Zorn and Robert Franz and Christian Mitterer",

year = "2017",

language = "English",

note = "44th IOP Plasma Physics Conference ; Conference date: 03-04-2017 Through 06-04-2017",

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