Structural and mechanical evolution of reactively and non-reactively sputterd Zr-Al-N thin films during annealing

Titel in Übersetzung: Structural and mechanical evolution of reactively and non-reactively sputterd Zr-Al-N thin films during annealing

P.H. Mayrhofer, Doris Sonnleitner, M. Bartosik, David Holec

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

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Titel in ÜbersetzungStructural and mechanical evolution of reactively and non-reactively sputterd Zr-Al-N thin films during annealing
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)52-56
FachzeitschriftSurface & coatings technology
Jahrgang244
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2014

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