Structure evolution in reactively sputtered molybdenum oxide thin films

Julia Pachlhofer, Christoph Jachs, Robert Franz, Enrico Franzke, H. Köstenbauer, Jörg Winkler, Christian Mitterer

Publikation: Beitrag in FachzeitschriftArtikelForschungBegutachtung

26 Zitate (Scopus)
OriginalspracheEnglisch
Seiten (von - bis)246-251
Seitenumfang6
FachzeitschriftVacuum
Ausgabenummer131
DOIs
PublikationsstatusVeröffentlicht - 2016

Schlagwörter

  • Molybdenum oxide
  • Thin film
  • MoO2
  • MoO3
  • Reactive sputtering

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